“NanoPure”是Gas Delivery Total Solution的品牌,屬于新萊集團,于1991年在臺灣成立,并擴大了在中國江蘇省昆山的生產設施。 為半導體、FPD、LED和光伏行業(yè)提供管道/管道和配件材料服務,“NanoPure”的核心理念是為氣體輸送應用提供高品質的“衛(wèi)生材料”。 氣體的供氣和輸送始終是半導體加工研究的主題,氣源的純度是確保加工準確性至關重要的因素。 在將氣體轉移到加工工具中的同時,保持純度受到工藝工程師的高度監(jiān)控。